日照人力資源公司www.m.textberater.com2024年11月28日消息，國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，一道新能源科技股份有限公司申請一項名為“一種鍍氧化鋁膜的方法太陽能電池”的專利，公開號CN 119028805 A，申請日期為2023年5月。

專利摘要顯示，本發(fā)明提供了一種鍍氧化鋁膜的方法、太陽能電池，涉及光伏技術(shù)領(lǐng)域。方法包括：將硅片放入原子層沉積機臺的腔室，對原子層沉積機臺進行檢漏之后，通入臭氧，對硅片的表面進行吹掃，并在硅片的表面生成氧化硅膜；進行第一氮氣通入，對腔室進行吹掃；在氧化硅膜的表面生成氧化鋁膜。通入臭氧，對硅片的表面進行吹掃，將硅片表面的粉塵吹掃去除，臭氧和硅片反應(yīng)在硅片的表面生成氧化硅膜，可以對硅片進行更好地鈍化。通入臭氧，還用于對腔室的硅片表面之外的其他位置進行吹掃，提高腔室的潔凈度。進行第一氮氣通入，對腔室進行吹掃，可以進一步提高腔室的潔凈度，能夠改善沉積氧化鋁膜工序時掉落到硅片表面的粉塵導(dǎo)致的EL黑斑黑點的情況。

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